Bergisch Gladbach - Qualität und Zuverlässigkeit von Produkten der MEMS-, Halbleiter- und Solarindustrie hängen von Genauigkeiten ab, die im Mikro- und Nanometerbereich liegen. Das erhöht die Anforderungen an Verfahren zur zerstörungsfreien Messung von Oberflächeneigenschaften in der Produktion. Zugleich benötigen besonders Wachstumsunternehmen wirtschaftliche und flexible Oberflächenmessgeräte für den Einsatz im Bereich F&E.

Lösungen für beide Bereiche hat Fries Research & Technology (FRT). Das Unternehmen bietet Messgeräte für das Labor, Anlagen zur begleitenden Produktionskontrolle bis hin zu vollautomatischen Systemen für die 100%ige Kontrolle an. Ausgewählte Produkte (MicroProf MFE/TTV und MicroSpy Topo) stellt FRT auf der diesjährigen Semicon Europa in Stuttgart vor.

Multisensortechnik von FRT

Die Multisensortechnik von FRT ist das Nonplusultra bei der Analyse von Oberflächen. Durch die Kombination von verschiedenen Messverfahren in einem universellen Gerät entsteht in der Summe eine kundenspezifische Lösung, die sich durch Leistungsfähigkeit (Auflösungsbandbreite bis zu 9 Größenordnungen), Erweiterbarkeit und Zukunftssicherheit auszeichnet.

FRT bietet mit der Serie MFE (Metrology for Front End) SEMI-konforme Reinraum-Messtechnik in einem Mini-Environment der Klasse 1. Es können Wafer aus nahezu jedem Material auf Bow, Warp, TTV, Stufenhöhen, Rauheit oder Schichtdicke überprüft werden - vollautomatisch, zerstörungsfrei und hochauflösend. Das integrierte Waferhandlingsystem verfügt über ein eigens entwickeltes Fine-Alignment, welches Wafer mit bis zu 300 mm Durchmesser bei einer reproduzierbaren Wiederholgenauigkeit von +/- 2 µm auf dem Messtisch platziert. Damit sind sehr anspruchsvolle Messaufgaben in einem vollautomatischen Umfeld realisierbar. Die Steuerung und Weiterverarbeitung der Messergebnisse kann über eine SECS/GEM Schnittstelle erfolgen.

Leistungsstark und wirtschaftlich

Der MicroSpy Topo ist die günstige Einstiegsmöglichkeit in die optische Messtechnik von FRT. Das budgetfreundliche Konfokalmikroskop ermöglicht schnelle, zerstörungsfreie und hochauflösende Oberflächenanalysen im Mikro- und Nanometerbereich. Rauheit, Kontur und Topographie werden in nur fünf Arbeitsschritten hochpräzise bestimmt - zwei- und dreidimensional.

Alle Informationen finden Sie unter http://www.frt-gmbh.com

(Quelle: FRT Fries Research & Technology GmbH)